Zavedení polovodičové superlattice
Polovodičová superlattice označuje monokrystal, ve kterém je opakovaně uspořádáno několik vrstev tenkého filmu. Tloušťka každé vrstvy ve vícevrstvém filmu se pohybuje od několika do několika desítek atomových vrstev. Hlavní polovodičové vlastnosti každé vrstvy, jako je mezera v pásmu a úroveň dopingu, lze nezávisle řídit. Období vícevrstvého filmu lze během růstu uměle regulovat, čímž se získá umělá krystalová struktura, tj. Superlattice. Superlattice, ve které jsou mutovány složky každé vrstvy ve vícevrstvém filmu, se nazývá superlattice modulovaná komponentou; superlattice každé vrstvy mající dopovaný atomový typ se nazývá dopovaná modulační superlattice.