Klasifikace pomocí chemické depozice par
Existuje mnoho metod chemické depozice par, jako je atmosférický tlak CVD (APCVD), nízkotlaký CVD (LPCVD), ultrahigh vakuum CVD (UHVCVD), laserová chemická depozice par laserem (LCVD), chemicko-organická chemická depozice par (MOCVD) , plazmové depozice chemických par (PECVD) atd.