Základní principy skenovacího elektronového mikroskopu
Elektronový paprsek vyzařovaný elektronovou elektronovou elektronovou pistolí je zaostřen a kondenzován do bodového světelného zdroje; bodový světelný zdroj tvoří vysokoenergetické elektronové paprsky pod zrychlujícím se napětím; vysokoenergetický elektronový paprsek je zaměřen na světelné místo s malým průměrem dvěma elektromagnetickými čočkami a prochází posledním elektromagnetickým objektivem se skenovací cívkou, elektronový paprsek bombarduje povrch vzorku bod po bodu rastrovým skenovacím způsobem a zároveň vzrušuje elektronické signály různých hloubek.